Riscaldamento linee gas
Erogazione di gas
L'ortosilicato di tetraetile (TEOS), il tricloruro di boro (BCl3), il cloruro di alluminio (AlCl3), il trifluoruro di cloro (ClF3) e il diclorosilano (DCS) sono gas che si condensano e liquefanno a causa di uno spostamento di fase a basse temperature. Nei processi dei semiconduttori la condensazione si verifica nelle tubazioni del gas e si impasta nel soffione prima di essere iniettata nella camera a vuoto. Se dei gas liquefatti sono iniettati nella camera a vuoto si verificherà un numero significativo di difetti dei wafer. Il riscaldamento uniforme dei condotti impedirà la condensazione. Le tubazioni TEOS sono generalmente riscaldate sopra i 194 °F (90 °C) e quelle BCl3 sopra agli 86 °F (30 °C), a seconda della pressione e portata. La temperatura ottimale delle tubazioni varierà a seconda dei parametri di processo.
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Specifiche tecniche:
| Materiale Di Guaina | Temperature max di Esercizio | Densità Di Potenza | ||
|---|---|---|---|---|
| °F | °C | W/in2 | W/cm2 | |
| Gomma siliconica | 392 | 200 | 2.5 | 0.39 |
- Densità in watt di 2,5 W/pollici2 (0,4 W/cm2) sul D.E. della tubazione del gas
- Certificazione UL® per gli standard di sicurezzaU.S.A.e canadesi
- I riscaldatori e gli isolatori soddisfano i requisiti di infiammabilità UL94-HB
- Riempitivi diritti isolati per la copertura al 100% delle tubazioni; i gomiti e gli elementi a T son
- D.I. disponibile: 1⁄4, 3⁄8, 1⁄2, 3⁄4 di pollice (6, 9,5, 13,19 mm)
- 120V standard, altre tensioni disponibili
- Bottoni automatici in metallo di piccole dimensioni
- Parete da 3⁄8 di pollice (9,5 mm), gomma siliconica, spugna a cella chiusa
Applicazioni:
- Tubazioni per l'erogazione del gas
Caratteristiche:
| Features | Benefits |
|---|---|
| Sistema composto di due parti facile da installare |
|
| Design di riscaldatore flessibile |
|
| Componenti di sistema standard flessibili |
|
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