 Il controllo della temperatura dei gas distribuiti in una camera a vuoto e lungo le tubature di pompaggio è essenziale per le industrie all’avanguardia nel settore dei semiconduttori. Vengono progettati nuove piattaforme di strumenti per aumentare le rese produttive, ma vanno anche ad aumentare le sfide di gestione termica per avere processi di deposizione e etching coerenti e costanti. La resa aumenta, mentre la frequenza delle manutenzioni preventive può diminuire quando i gas distribuiti e di scarico sono controllati entro i parametri di processo prescritti.
I sistemi di riscaldamento per gas e tubature di pompaggio di Watlow sono stati sviluppati per fornire flessibilità nella progettazione del sistema di riscaldamento ottimale. I sistemi di tubazione delle camere a vuoto possono costituire un problema per l'aspetto termico a causa della diversa inerzia termica, degli spazi ristretti e delle modifiche alla struttura dell'ultimo minuto. I nuovi sistemi di riscaldamento STRETCH-TO-LENGTH™ e i controllori EHG sono soluzioni standard per le tubature che distribuiscono gas di difficile riscaldamento. Integrati in un pacchetto completo, i componenti Watlow riducono il tempo di progettazione e i costi del sistema. Sono possibili soluzioni a consegna rapida per applicazioni di abbattimento in quanto Watlow ha più di mille configurazioni standard di riscaldatori disponibili tra i suoi file di progettazione.
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